凈化車間10萬級
具有一定空氣清潔度要求的房間稱為潔凈室，集成電路生產(chǎn)過程的大部分環(huán)境都需要空氣凈化處理。根據(jù)工藝流程清潔、恒溫等不同要求，線性、數(shù)字電路車間的清潔等級設計要求為10萬級，即粒度為0.5μm污垢含量不得超過3500/L。清潔車間確保環(huán)境凈化，雖然主要依靠空氣凈化和空調(diào)手段，但如果室內(nèi)裝修處理不當，也會產(chǎn)生嚴重影響；如室內(nèi)墻、天花板材料脫落、氧化灰、細節(jié)結(jié)構(gòu)灰、天花板、門窗、管道間隙灰等，將直接影響凈化效果。因此，對于清潔車間，建筑室內(nèi)裝飾技術(shù)比任何其他類型的生產(chǎn)房間都更重要。
凈化車間10萬級
結(jié)構(gòu)造型與平面組合主體工程設計采用混合結(jié)構(gòu)形式，基本柱網(wǎng)6 2.1 6(m)，兩側(cè)外加1.5m寬外廊。每層為埋設公共設施管道增加60層。mm厚石混凝土澆筑層；沿中間走道兩側(cè)和走廊內(nèi)側(cè)的四個縱墻設計為370mm墻體不僅滿足了敷設各種隱蔽管道和電氣配件的需要，而且避免了室內(nèi)凸柱堆放，確保了內(nèi)墻的平整度，非常有利于確保車間的凈化。10萬級清潔區(qū)按其凈化要求設計為無窗封閉車間，有效隔離外部環(huán)境，避免外部污染。但工人長期從事與外部環(huán)境隔離的無窗車間的生產(chǎn)勞動，容易產(chǎn)生抑郁和疲勞。
凈化車間10萬級
為改善工人的生產(chǎn)環(huán)境，設計增加了1.5m寬敞的封閉式走廊不僅改善了室內(nèi)照明，而且增加了間接的自然照明，使工人在視覺上與外部環(huán)境相連。此外，封閉式走廊直接連接到清潔生產(chǎn)區(qū)的走道，并有安全出口。在緊急情況下，工作人員可以盡快疏散?？諝鈨舾邌栴}集成電路生產(chǎn)車間的一般設備和設備高度主要為1.5m以下設備不超過2個m，這是降低高度的一個有利因素；但建筑凈高不能無限降低，因為凈高太低容易使工作人員產(chǎn)生沉悶的情緒。一般來說，舒適的建筑視覺感應滿足兩個條件：凈高不低于人體高度的1.5倍，不小于房間深度的1/3。根據(jù)相關(guān)資料，我國成年男女平均身高分別為1/1.67m和1.56m，二者平均為1.61m。潔凈車間女工總數(shù)約占75%，實際平均身高較低。如果按平均身高的1.考慮5倍，室內(nèi)凈高應為5倍≥2.4m;車間深度設計為6m，凈高應按其1/3考慮≥2m。綜合以上因素，確定室內(nèi)凈高取2.4m。
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